3. 研究结果
从IC 生产制程资料中,本研究以Gini的法则应用于CART 二元树分割手法,本研究定义良率72%~78%的整数百分比为临界值时,而分别得到测量参数编号为18708、18708、18708、19414、19442、19500 及18664。可得定义良率临界值为72%~74%时,我们得到相同的结果。良率临界值定为72%时,报表结果如图一,良率临界值为75%、76%、77%和78%分别以图二、图三、图四和图五表示,而这个结果,可供制程工程师在生产过程中,达到随时监控生产过程的用途。而这些所选出来的结果,透过美商威能信息台湾分公司拿到IC 生产现场,显示本研究的成果极为显著,以本研究所产生的结果,目前在生产在线,已依照这个结果做进一步的再显确认。
图一到图五的结果中,究竟那个良率的选择较佳呢?由这五个图中并无法显示出来,若由制程工程师个人主观来判定也并不一定适合,本研究提出以数据视觉的方法来辅助这个过程,在图六到图十中,分别绘制图一到图五中所对应机台编号量测值的survey plot,由这五个图中,可以藉由视觉辅助的方式,本文中旳survey plot 最左边为参数量测值,中间图形表良率大小值,而最右边为不良率值,图中以红色及绿色表示高低良率的分割,左图的二种颜色表选取变量的好坏。
透过survey plot,可以辅助工程师做更好的决策,由图六到图十二中,工程师就可以选择图九良率临界值为75%是较佳的选择,因为图九的左图颜色区别较明显,不同区块的比例又大,利用这种数据视觉的辅助方法而更能有效、快速的做出更佳的决策,本研究由这组LPC 制程资料中找出即找出影响良率最重要的制程参数编号为19414。
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07-10-30
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